特殊ガス
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発熱体に対する挙動 |
水蒸気 |
水蒸気は炭化ケイ素の酸化を促進し、シリコニット発熱体の寿命を縮めます。 |
水素ガス |
水素ガスの存在下でシリコニット発熱体をご使用されますと発熱体は特に1200℃以上では急激に抵抗増加し、機械的強度も低下します。 |
窒素ガス |
窒素ガス雰囲気中では、表面温度が約1400℃以上になりますと窒化物が発生し、抵抗増加を招きます。 |
炭化水素 |
炭化水素が存在すると、高温でススが生じ、シリコニット発熱体表面に炭素が蓄積します。この炭素は抵抗が小さいため短絡事故を招くことがあります。 |
ハロゲンガス |
塩素などのハロゲンガスは比較的低温(500〜600℃)でシリコニット発熱体を侵食します。 |
硫化物ガス |
硫化物ガス(S、SO2、SO3など)は、約1300℃以上でシリコニット発熱体を顕著に侵食します。 |
フッ化水素 |
フッ化水素(HF)は炭化ケイ素表面に生じる酸化保護膜(SiO2膜)を侵食するため、シリコニット発熱体の劣化を促進します。 |
低圧環境 |
真空などの低圧下でシリコニット発熱体をご使用されますと、炭化ケイ素が昇華しますので抵抗増加、機械的強度の低下を招きます。 |